UV-LED-Fotolithografie
Fortschrittliche UV-LED-Belichtungssysteme für Lithografieanwendungen
Halbleiter- und Leiterplattenhersteller nutzen Hochleistungsstrahlung im nahen UV-Spektrum (i-Linie, CWL 365 nm / h-Linie, CWL 405 nm / g-Linie, CWL 436 nm), um komplexe Mikrostrukturen in Fotolithografieprozessen zu erzeugen. Diese sind die Grundlage für die Herstellung unterschiedlichster Produkte – von robusten integrierten Schaltkreisen (ICs), Power Devices, Verbindungshalbleitern (LEDs, Laserdioden, Solarzellen), MEMS und Mikrofluidik-Systemen bis hin zu 3D- und Advanced Packaging.
Jahrzehntelang waren Quecksilberdampflampen für Breitband-UV-Belichtungsanlagen alternativlos. Die jüngsten Fortschritte im Bereich der UV-LEDs haben das jedoch geändert. Diese Technologie ist sicherer, viel kostengünstiger und zuverlässiger als herkömmliche Lampen. Und das Beste: Wer bestehende UV-Belichtungsanlagen nachrüsten oder neue entwickeln möchte, integriert einfach die Advanced UV-LED Light Engines von Primelite als Subsystem.
UV-LED Mask Aligner
Mask Aligner, die mit unseren UV-LED Light Engines ausgestattet sind, liefern hervorragende Ergebnisse für die Belichtung im Proximity- und Contact-Modus (soft / hard / vacuum).
UV-LED Wafer Stepper
Mit einem UV-LED-Belichtungssystem von Primelite, das in Ihren Stepper integriert ist, können Sie Auflösungen bis zu 1 µm oder sogar im Submikronbereich erreichen.
UV-LED Direct Imaging
DMD / DLP®-Projektionssysteme in der Serienfertigung benötigen Hochleistungs-UV-Lichtquellen. Wir bieten den leistungsfähigsten UV-LED-DMD-Illuminator auf dem Markt.
UV-LED Wafer Edge Exposure
Die UV-LED-Punktlichtquellen von Primelite sind die ideale Lösung für Wafer-Randbelichtung und decken die i-, h- und g-Linie der Quecksilberdampflampe perfekt ab.
Kollimierte UV-LED-Belichtung
Herkömmliche Flutbelichtungseinheiten sind auf dem Rückzug. Mit unseren breitbandigen UV-LED-Lichtquellen sind diese Systeme viel sicherer, günstiger und zuverlässiger.
UV-LED-Maskeninspektion
Verabschieden Sie sich von Quecksilberdampflampen in Ihren Maskeninspektionsprozessen und nutzen Sie unsere lichtleiterbasierten UV-LED-Lichtquellen.