Direct Imaging mit
UV-LED DLP® / DMD-Illuminatoren von Primelite steigern den Durchsatz in der digitalen Lithografie
Direktbelichter, Maskless Aligner und andere maskenlose Lithografie-Tools sind in der Branche auf dem Vormarsch. Das Gleiche gilt für den 3D- und Computer-to-Screen-Druck (CtS). Alle maskenlosen Belichtungssysteme basieren auf digitalen Digital Mirror Devices (DMD) wie den DLP®-Chipsätzen von Texas Instruments. TI hat die DLP®-Technologie entwickelt, um hochmoderne digitale Kinoprojektionssysteme zu realisieren. In industriellen Anwendungen sind diese hochauflösenden optischen MEMS ein Ersatz für konventionelle Masken zur Belichtung von Strukturen auf Substraten mit UV-empfindlichen Beschichtungen, Harzen oder Resists. DMDs bringen dabei ganz neue Flexibilität in Ihren Prozess: Belichtungsmuster können unmittelbar gewechselt und dynamisch verändert werden. Optimieren Sie Ihren Lithografie- oder Digitaldruckprozess durch den Einsatz von DMDs und verzichten Sie auf die herkömmliche Maske.
Um mit einem DMD-Projektionssystem in der Großserienfertigung einen ausreichenden Durchsatz zu erzielen, bedarf es einer leistungsstarken UV-Lichtquelle. Lange Zeit waren Quecksilberdampflampen die Technologie der Wahl, doch inzwischen sind einige Systeme durch Laserdioden mit längerer Lebensdauer ersetzt worden. Allerdings haben auch Laserdioden einen entscheidenden Nachteil: Im Gegensatz zu Entladungslampen sind sie nahezu monochromatisch (z. B. nur 405 nm), was oft zu unerwünschten Belichtungsergebnissen führt.
Jüngste Fortschritte in der UV-LED-Technologie haben Hochleistungsstrahler hervorgebracht, die den Spektralbereich herkömmlicher Quecksilberdampflampen gut abdecken. Die Kombination dieser UV-LEDs mit einem DMD-Illuminator bringt dabei klare Vorteile mit sich: Eine hochintensive multispektrale optische Ausgangsleistung bei geringen Gesamtbetriebskosten. Primelite vertreibt einen der leistungsstärksten DMD-Illuminatoren, die auf LED-Technologie basieren: den LumiDL™.
Integration von LumiDL™ UV-LED DMD-Illumiatoren in Ihr Direct Imaging Tool
Der LumiDL™ gehört zu den leistungsstärksten DMD-Illuminatoren auf dem Markt. Seine UV-Ausgangsleistung ist so hoch, dass das LED-Modul des Illuminators eine anspruchsvolle Flüssigkeitskühlung benötigt, ebenso wie der DLP®-Chipsatz.
Ein DMD-Projektionssystem mit dem LumiDL™ UV-LED-Illuminator ist in der Regel ein optischer Aufbau, der ein TIR-Prisma, einen geeigneten DLP®-Chipsatz und eine Projektionsoptik umfasst. Während 3D- und CtS-Drucksysteme in der Regel mit einer einzigen Belichtungseinheit auskommen, werden bei Direktbelichtungssystemen in der Hochvolumenfertigung mehrere dieser Einheiten parallel eingesetzt, um den Durchsatz zu erhöhen.
Breitband-DMD-Belichtung
LumiDL™ UV-LED DMD-Illuminatoren können auf jede Wellenlängenzusammensetzung abgestimmt werden, die für den jeweiligen Belichtungsprozess erforderlich ist.
Harze für den 3D-Druck funktionieren am besten, wenn sie bei 385 oder 405 nm belichtet werden. Aus diesem Grund ist die Verwendung einer leistungsstarken monospektralen DMD-Illuminator-Konfiguration für DLP®-basierte 3D-Drucker absolut sinnvoll.
Anders verhält es sich bei Anwendungen der maskenlosen Lithografie: Viele Resists stammen noch aus der Ära der Entladungslampen – und die Aushärtungsergebnisse profitieren von einer starken Breitbandstrahlung. Aus diesem Grund sind LumiDL™ DMD-Illuminatoren mit jeder Kombination von 365, 385, 405 und 436 nm Emittern erhältlich.
LumiDL™ UV-LED DMD-Illuminatoren liefern bis zu 40 W optische Gesamtleistung an den DLP®-Chipsatz.
Vorteile von LumiDL™ DMD-Illumniatoren für Direct Imaging
- Ausgangsleistung von bis zu 40 W auf 0,95" DLP®-Chipsätzen
- Multispektrale Konfigurationen verfügbar (365 / 385 / 405 / 436 nm)
- Sicherer als Entladungslampen
- UV-LED-Technologie für längere Lebensdauer und niedrigere TCO
UV-LED DMD-Illuminator
LumiDL™ für DLP®7000
Einfach zu integrieren, außergewöhnlich leistungsstark und leicht zu warten – LumiDL™ UV-LED-Illuminatoren für DLP®7000 sind die richtige Wahl, wenn es um die mono- und multispektrale Belichtung von DLP®7000-Chipsätzen geht.
UV-LED DMD-Illuminator
LumiDL™ für DLP®9500
Einfach zu integrieren, außergewöhnlich leistungsstark und leicht zu warten – LumiDL™ UV-LED-Illuminatoren für DLP®9500 sind die richtige Wahl, wenn es um die mono- und multispektrale Belichtung von DLP®9500-Chipsätzen geht.