UV-LED-Lichtquellen von Primelite steigern die Flexibilität und Genauigkeit in der Maskeninspektion
Eine fehlerfreie Maske ist entscheidend für eine hohe Produktivität in Fotolithografieanwendungen. Defekte und Verunreinigungen führen zu falsch abgebildeten Strukturen, die auf Produktionssubstraten ständig reproduziert werden. Maskeninspektionssysteme helfen Maskenherstellern, ihre Fotomasken zu qualifizieren, und Fabs, ihre Ausbeute zu sichern, indem sie das Risiko einer fehlerhaften Belichtung von Wafern und anderen Substraten verringern. Chiphersteller und Produzenten von Flat Panel Displays (FPD) oder Leiterplatten stützen sich auf diese Systeme, um die Qualität eingehender Masken zu bewerten und diese auch während der Produktion regelmäßig neu zu überprüfen.
So vielfältig die Fotolithografie ist, so verschieden sind auch die Masken. Unser Fokus liegt auf Inspektionssystemen, die Defekte und Verunreinigungen auf großen Masken mit nah ultraviolettem (NUV), sichtbarem (VIS) und nah infrarotem (NIR) Licht erkennen. In diesen Anlagen ersetzen unsere leistungsstarken und flexiblen LED-Lösungen die herkömmlichen Quecksilber- und Xenon-Dampflampen.
Integration unserer LED-Lichtquellen in Maskeninspektionssysteme
Die Nachfrage nach hochauflösenden Flat Panel Displays für Smartphones, Tablets und dergleichen ist enorm. OEMs können dieser Nachfrage besser gerecht werden, wenn sie ihre Inspektionsanlagen für große Masken auf unsere leistungsstarke LED-Technologie umrüsten. Drei gute Gründe, die für die Hochleistungs-LED-Lichtquellen von Primelite sprechen:
- Die lichtleiterbasierten Advanced Light Engines ALE/1 und ALE/3 von Primelite sind extrem flexibel. Mit unseren LED-Lichtleitern hoher Transmission können Sie die Lichtquelle in Ihrer Maschine nach Belieben bewegen und positionieren. Diese Lichtleiter sind in bestehenden Installationen teilweise bis zu 20 Meter lang.
- Hochwertige OLED-FPDs sind mit mehr TFT-Transistoren ausgestattet, um eine bessere Auflösung zu erzielen. Aus diesem Grund müssen High-End-Masken in der Lage sein, kleinere Strukturen zu erzeugen. Um diese Masken richtig prüfen zu können, muss Ihre Anlage empfindlicher auf Defekte ansprechen. Durch die Verschiebung des Inspektionsspektrums vom VIS- in den nahen UV-Bereich wird die Fehlererkennung genauer. Advanced Light Engines von Primelite bieten im Wellenlängenbereich zwischen 350 und 450 nm eine hervorragende Leistung.
- Die außergewöhliche – kurz- und langfristige – Leistungsstabilität unserer LED-Belichtungslösungen trägt zur Genauigkeit und Konsistenz Ihrer Ergebnisse bei der Maskenprüfung bei.
Präzise mono- und multispektrale Ausgangsleistung
Während andere LED-Belichtungslösungen ein schmalbandiges Inspektionslicht liefern (zum Beispiel bei 385±15 nm), bieten unsere innovativen LED-Systeme ein breitbandiges, individuell anpassbares Ausgangsspektrum. Zusätzlich zu den zentralen Wellenlängen der i-, h- und g-Linie (365 / 405 / 436 nm) herkömmlicher Entladungslampen lässt sich der Spektralbereich auch um VIS-Komponenten wie Blau und Grün erweitern.
Mit unserer Advanced Light Engine ONE können Sie bis zu fünf leistungsstarke, individuell feedback-gesteuerte LEDs in einem einzigen optischen Pfad kombinieren. Darüber hinaus sind auf der Grundlage unserer lichtleitergekoppelten UV-LED-Lichtquelle ALE/3 kosteneffiziente Belichtungssysteme mit einer oder zwei Peakwellenlängen erhältlich.
Ausgangsleistung im Vergleich
| Ausgangsleistung [mW]1 | Breitband (350 - 450 nm) | i-Linie (355 - 385 nm) |
|---|---|---|
| ALE/1.3 (CWL 365 / 405 / 436 nm)2 | 30.000 | 10.000 |
| ALE/3.2 (CWL 365 / 405 nm)2 | 13.000 | 6.500 |
| 200 W Quecksilberdampflampe (typische Werte) | 7.500 | 3.000 |
1Ausgangsleistung gemessen am Lichtleiterende (aktiver Kern Ø 6,5 mm, Länge 1,5 m); Abweichungen von ±10% möglich
2Emitter CWL: 367,5±2,5 nm, 402,5±2,5 nm und 435,0±2.5 nm
Vorteile von ALE ONE und ALE THREE für die Maskeninspektion
- Flexible, lichtleiterbasierte UV-LED-Lichtquelle
- Stabile, präzise, zuverlässige und hochintensive Ausgangsleistung
- Vollständig einstellbares Breitbandspektrum im nahen UV und VIS
- UV-LED-Technologie für längere Lebensdauer und niedrigere TCO
- Schaltzeiten von weniger als 1 Millisekunde
Advanced Light Engine
ONE
Mit maßgeschneiderten, breitbandigen Spektren und hervorragender Belichtungsstabilität setzen die UV-LED-Punktlichtquellen ALE/1 neue Maßstäbe.
Advanced Light Engine
THREE
Hier kommt Ihr wirtschaftlicher und platzsparender Ersatz für alte Lampensysteme in der Maskeninspektion: Unsere UV-LED-Lichtquelle ALE/3.
LED
Lichtleiter
Erfahren Sie mehr darüber, wie unsere LED-Lichtleiter mit hoher Transmission Ihren Prozess zur Inspektion von Fotomasken leistungsfähiger machen.