
Vor- und Nachteile von Thermopile- und Si-Fotodiodensensoren zur Quantifizierung breitbandiger NUV-Strahlung
Breitbandige NUV-Lichtquellen sind die Zugpferde in der Lithografie und der UV-Härtung. Die genaue Quantifizierung ihrer Strahlung ist für die Prozessstabilität sowohl in der Klein- als auch in der Großserienfertigung unerlässlich und gewährleistet die Reproduzierbarkeit der...