Primelite Lithography UV-LED Exposure System ALE TWO
Primelite Lithografie UV-LED Belichtungssystem ALE/2 (Controller and Belichtungs-Subsystem)

Wir haben unsere ALE/2 UV-LED Light Engine als Ersatz für konventionelle Quecksilberdampflampen im Bereich zwischen 2 und 5 kW entwickelt. Es sind monospektrale (i-Linie, CWL 365 nm) oder multispektrale breitbandige (i-Linie, CWL 365 nm / h-Linie, CWL 405 nm / g-Linie, CWL 436 nm) Konfigurationen verfügbar, die Intensitäten von über 100 mW/cm2 auf runden und quadratischen 8″- oder 12″-Substraten erreichen.

Unsere UV-LED-Lithographie-Lichtquelle ALE/2 besteht aus einem Belichtungs-Subsystem und einem separaten Steuerungs-Subsystem. Die kompakte Größe des UV-LED-Belichtungs-Subsystems vereinfacht die direkte Integration in Ihr Litho-Tool.

Informieren Sie sich im Detail unter UV-LED Belichtungssystem ALE/2.