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Zusammen mit unserem Partner KLV stellen wir die Advanced Light Engine ONE (ALE/1) auf der SEMICON Japan in Tokio vom 13. bis 15. Dezember vor.

Es gibt einen starken Trend in der Industrie weg von der konventionellen Entladungslampentechnologie, die lange Zeit die Lichtquelle der Wahl in der Halbleiterlithographie war. Die ALE/1 liefert hochintensive UV-Strahlung in den Spektralbereichen der i-, h- und g-Linie und kann Quecksilberdampflampen bis zu einer Nennleistung von 1.000 W ersetzen. Darüber hinaus gibt es zahlreiche weitere UV-Belichtungsanwendungen (z.B. WEE), die von unserem System profitieren können.

Besuchen Sie uns auf unserem Stand Nr. 3512 (Osthalle 3), um mögliche Anwendungen zu diskutieren. Wenn Sie an einem Treffen auf der SEMICON interessiert sind, wenden Sie sich bitte an Maximilian Dicenta.

Weitere Informationen zur Messe finden Sie unter SEMICON Japan.