Primelite Advanced UV-LED Light Engines für Lithografie-Anwendungen
Entdecken Sie unsere leistungsstarken UV-LED-Lithografie-Belichtungssysteme und Präzisionshärtungslösungen für den nahen UV-Bereich (i-Linie, CWL 365 nm / h-Linie, CWL 405 nm / g-Linie, CWL 436 nm). Unsere Produkte überzeugen mit hervorragender Leistung in Mask Alignern für Wafer bis zu 12″ (300 mm), Wafer Steppern, Flächenbelichtungsanlagen für große Substrate, Nanoimprint Lithografie (NIL) Tools und maskenlosen Hochleistungs-Direktbelichtern für die DMD / DLP®-Projektion.
Wenn Sie neue Belichtungssysteme entwickeln oder herkömmliche Quecksilberdampflampen in bestehenden Anlagen ersetzen möchten, sind Sie bei uns an der richtigen Adresse: Die seit Jahren im industriellen Einsatz bewährten UV-LED-Lichtquellen von Primelite sind Ihre zuverlässige Wahl in Produktionsumgebungen von der Klein- bis zur Großserienfertigung.
Advanced Light Engine
ONE C
Mask Aligner, die mit unseren UV-LED Light Engines ausgestattet sind, liefern hervorragende Ergebnisse für die Belichtung im Proximity- und Contact-Modus.
Advanced Light Engine
TWO
Mit den ALE/2 i-Line- und Breitband-Konfigurationen erreichen Sie Intensitäten von 100 mW/cm2 und mehr auf runden und quadratischen 8″- und 12″-Substraten.
UV-LED
DLP® / DMD-Illuminator
DMD / DLP®-Projektionssysteme in der Serienfertigung benötigen Hochleistungs-UV-Lichtquellen. Wir bieten den leistungsfähigsten UV-LED DMD-Illuminator auf dem Markt.