ALE/1C UV-LED-Belichtungssysteme ersetzen konventionelle 1 kW Lampenhäuser
Das UV-LED-Belichtungssystem Advanced Light Engine ONE C (ALE/1C) von Primelite ist eine leistungsstarke Punktlichtquelle für industrielle Hochleistungs-UV-Belichtungsanlagen – wie halbautomatische und automatische Mask Aligner für 6″ (150 mm) und 8″ (200 mm) Wafer oder Breitband-Wafer Stepper (1X Stepper / Mini Stepper). Die ALE 1C übertrifft herkömmliche Quecksilberdampflampen durch hervorragende Lichtstabilität und flexible Steuerung des Belichtungsspektrums. Zudem verbraucht sie weniger Strom, erzeugt weniger Wärme, biete eine längere Lebensdauer und erfordert nur minimale Wartung.
Bei Primelite haben wir es zum Prinzip gemacht, alle Produkte auf einer gemeinsamen Plattform zu entwickeln. Die UV-LED-Belichtungssysteme ALE/1C sind da keine Ausnahme: Sie ermöglichen die Kombination von bis zu drei UV-LEDs im Strahlengang. In den meisten Fällen handelt es sich dabei um Emitter der i-Linie (CWL 365 nm), h-Linie (CWL 405 nm) und g-Linie (CWL 436 nm), die mit ihrer Strahlungsleistung herkömmliche 1 kW Quecksilberdampflampen übertreffen.
Highlights des UV-LED-Belichtungssystems ALE/1C
- Integrierte Lösung für maximale Belichtungseffizienz und -leistung
- Bis zu 50 Watt breitbandige Ausgangsleistung (350 - 450 nm)
- Closed-loop gesteuerte optische Leistung für maximale Prozessstabilität
- Sichere und zukunftsfähige Lichtquelle – ohne Quecksilber!
- UV-LED-Technologie für längere Lebensdauer und niedrigere TCO
- Made in Germany
UV-LED-Belichtungssysteme ALE/1C im Überblick
Das ALE/1C zeichnet sich durch ein modulares Design aus, das die Systemintegration wesentlich erleichtert. Unsere kompakten UV-LED-Belichtungs-Subsysteme (ESS) befinden sich direkt im Strahlengang Ihrer Geräte, wo der Bauraum normalerweise eine Herausforderung darstellt. Das separate Steuerungs-Subsystem (CSS), das die Stromversorgung und Kühlung der gesamten Anlage übernimmt, können Sie dagegen an einem beliebigen Ort mit weniger Platzproblemen platzieren. Außerdem lässt sich der Lichtausgang des ALE/1C-Belichtungssystems mit verschiedenen Integratoren (Light Pipes), Lichtleitern und zusätzlichen Optiken kombinieren.
Steuerungs-Subsystem (CSS)
Das CSS gibt es in zwei Versionen, einer kompakten und einer mit Gehäuse für 4HE 19″-Racks. Beide verfügen über die gleichen Steuerschnittstellen, Kühlmittelanschlüsse und eine Systemstatusanzeige. Die Version für den Rackeinbau verfügt außerdem über einen Belichtungstestschalter an der Vorderseite, mit dem die Lichtausgabe ohne externe Steuersignale aktiviert werden kann.
Belichtungs-Subsystem (ESS)
Die UV-LED-Belichtungs-Subsysteme ALE/1C sind Punktstrahler für den Anschluss von Light Pipes. Angeschlossen an ein separates Steuerungs-Subsystem (CSS) und ausgestattet mit Optiken Ihrer Wahl, enthalten unsere Advanced Light Engines die gesamte Hard- und Software, die zur Steuerung und Regelung der internen UV-LED-Emitter erforderlich ist. Das kompakte Design des UV-LED-Belichtungs-Subsystems ermöglicht eine einfache Integration – entweder als Nachrüstung für Ihre bestehende Anlage oder als Teil einer Neuentwicklung.
Alle LED-Module sind vor Ort austauschbar. Das Auswechseln der LEDs dauert nur wenige Minuten und erfordert kein Spezialwerkzeug.
Lichtausgangsoptionen
Wir bieten Ihnen eine Auswahl an Integratoren, flexiblen LED-Lichtleitern und Kondersoroptiken, die Sie mit den ALE/1C Belichtungs-Subsystemen kombinieren können. Diese Komponenten sind sehr nützlich, wenn Sie Hochleistungsstrahlung über große Entfernungen übertragen, die Homogenität erhöhen oder den Kollimationswinkel der Ausgangsstrahlung anpassen möchten.
Output von ALE/1C UV-LED-Belichtungssystemen
Unser Standard-ALE/1C-System kombiniert UV-LED-Emitter mit Peakwellenlängen im Bereich der i-Linie (365 nm), h-Linie (405 nm) und g-Linie (436 nm) des Quecksilberspektrums. Alle UV-LED-Emitter sind einzeln regelbar, so dass Sie die Wellenlängen ohne Filterwechsel schalten und das Ausgangsspektrum individuell anpassen können.
Spektrum
Winkelverteilung (aus Integrator)
Leistung
| Leistung [mW]1 | Optik | Breitband (350 - 450 nm) | i-Linie (365 nm) |
|---|---|---|---|
| ALE/1C (Performance-Mode) | Ø8,0 mm HEX AR | 50.000 | 21.000 |
| ALE/1C (Standard-Mode) | Ø8,0 mm HEX AR | 40.000 | 17.000 |
1Abweichung von ±10% möglich
Unser ALE/1C liefert bis zu 40 W Gesamtausgangsleistung im Standard-Mode und 50 W im Performance-Mode. Um den Performance-Mode zu aktivieren, benötigen Sie einen zusätzlichen Chiller im Kühlkreislauf, der die Kühlmitteltemperatur unter 20°C hält.
Systemeigenschaften und technische Daten
| Emitteroptionen | 3 LEDs mit CWL 365 nm, 405 nm und 436 nm | ||
| Numerische Apertur | Variabel: NA 0,6 (2α ~70°) nur mit Integrator und bis zu NA 0,15 (2α ~17°) mit Kondensor | ||
| Leistungssteuerung |
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| Systemschnittstellen |
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| Wärmemanagement |
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| Abmessungen (B H T) | ESS: | 20 X 13 X 20,5 cm | 7,9 X 5,1 X 8,1" |
| CSS: | 20 X 15 X 45 cm | 7,9 X 5,9 X 17,7" | |
| CSS (Rack): | 44 X 18 X 37 cm | 17,3 X 7,1 X 14,6" | |
| Gewicht | ESS: | 5 kg | 11 lbs |
| CSS: | 9 kg | 20 lbs | |
| CSS (Rack): | 10 kg | 22 lbs | |
| Stromversorgung | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1.000 W | ||