Advanced UV-LED Light Engine ONE C

Das verlässliche Zugpferd in 6" und 8" Mask Alignern

ALE/1C UV-LED-Belichtungssysteme ersetzen konventionelle 1 kW Lampenhäuser

Das UV-LED-Belichtungssystem Advanced Light Engine ONE C (ALE/1C) von Primelite ist eine leistungsstarke Punktlichtquelle für industrielle Hochleistungs-UV-Belichtungsanlagen – wie halbautomatische und automatische Mask Aligner für 6″ (150 mm) und 8″ (200 mm) Wafer oder Breitband-Wafer Stepper (1X Stepper / Mini Stepper). Die ALE 1C übertrifft herkömmliche Quecksilberdampflampen durch hervorragende Lichtstabilität und flexible Steuerung des Belichtungsspektrums. Zudem verbraucht sie weniger Strom, erzeugt weniger Wärme, biete eine längere Lebensdauer und erfordert nur minimale Wartung.

Bei Primelite haben wir es zum Prinzip gemacht, alle Produkte auf einer gemeinsamen Plattform zu entwickeln. Die UV-LED-Belichtungssysteme ALE/1C sind da keine Ausnahme: Sie ermöglichen die Kombination von bis zu drei UV-LEDs im Strahlengang. In den meisten Fällen handelt es sich dabei um Emitter der i-Linie (CWL 365 nm), h-Linie (CWL 405 nm) und g-Linie (CWL 436 nm), die mit ihrer Strahlungsleistung herkömmliche 1 kW Quecksilberdampflampen übertreffen.

UV-LED-Lithografie-Belichtungssystem Advanced Light Engine ONE C
UV-LED-Lithografie-Belichtungssystem Primelite ALE/1C (Controller und Belichtungs-Subsystem)

Highlights des UV-LED-Belichtungssystems ALE/1C

UV-LED-Belichtungssysteme ALE/1C im Überblick

Das ALE/1C zeichnet sich durch ein modulares Design aus, das die Systemintegration wesentlich erleichtert. Unsere kompakten UV-LED-Belichtungs-Subsysteme (ESS) befinden sich direkt im Strahlengang Ihrer Geräte, wo der Bauraum normalerweise eine Herausforderung darstellt. Das separate Steuerungs-Subsystem (CSS), das die Stromversorgung und Kühlung der gesamten Anlage übernimmt, können Sie dagegen an einem beliebigen Ort mit weniger Platzproblemen platzieren. Außerdem lässt sich der Lichtausgang des ALE/1C-Belichtungssystems mit verschiedenen Integratoren (Light Pipes), Lichtleitern und zusätzlichen Optiken kombinieren.

Steuerungs-Subsystem (CSS)

Das CSS gibt es in zwei Versionen, einer kompakten und einer mit Gehäuse für 4HE 19″-Racks. Beide verfügen über die gleichen Steuerschnittstellen, Kühlmittelanschlüsse und eine Systemstatusanzeige. Die Version für den Rackeinbau verfügt außerdem über einen Belichtungstestschalter an der Vorderseite, mit dem die Lichtausgabe ohne externe Steuersignale aktiviert werden kann.

Primelite UV-LED-Lithografie-Controller Advanced Light Engine CSS
Primelite UV-LED-Controller ALE CSS
UV-LED-Lithografie-Belichtungssystem Advanced Light Engine ONE C
Primelite UV-LED-Lithografie-Belichtungs-Subsystem ALE/1C

Belichtungs-Subsystem (ESS)

Die UV-LED-Belichtungs-Subsysteme ALE/1C sind Punktstrahler für den Anschluss von Light Pipes. Angeschlossen an ein separates Steuerungs-Subsystem (CSS) und ausgestattet mit Optiken Ihrer Wahl, enthalten unsere Advanced Light Engines die gesamte Hard- und Software, die zur Steuerung und Regelung der internen UV-LED-Emitter erforderlich ist. Das kompakte Design des UV-LED-Belichtungs-Subsystems ermöglicht eine einfache Integration – entweder als Nachrüstung für Ihre bestehende Anlage oder als Teil einer Neuentwicklung.

Alle LED-Module sind vor Ort austauschbar. Das Auswechseln der LEDs dauert nur wenige Minuten und erfordert kein Spezialwerkzeug.

Lichtausgangsoptionen

Wir bieten Ihnen eine Auswahl an Integratoren, flexiblen LED-Lichtleitern und Kondersoroptiken, die Sie mit den ALE/1C Belichtungs-Subsystemen kombinieren können. Diese Komponenten sind sehr nützlich, wenn Sie Hochleistungsstrahlung über große Entfernungen übertragen, die Homogenität erhöhen oder den Kollimationswinkel der Ausgangsstrahlung anpassen möchten.

Primelite LED Performance Optik
Primelite LED Performance Optik

Output von ALE/1C UV-LED-Belichtungssystemen

Unser Standard-ALE/1C-System kombiniert UV-LED-Emitter mit Peakwellenlängen im Bereich der i-Linie (365 nm), h-Linie (405 nm) und g-Linie (436 nm) des Quecksilberspektrums. Alle UV-LED-Emitter sind einzeln regelbar, so dass Sie die Wellenlängen ohne Filterwechsel schalten und das Ausgangsspektrum individuell anpassen können.

Spektrum

Primelite UV-LED-Belichtungssystem ALE ONE C: Spektrale Leistung CWL 365, 405, 436

Winkelverteilung (aus Integrator)

Primelite UV-LED-Belichtungssystem ALE ONE C: Winkelverteilung

Leistung

Leistung [mW]1OptikBreit­band (350 - 450 nm)i-Linie (365 nm)
ALE/1C (Performance-Mode)Ø8,0 mm HEX AR50.00021.000
ALE/1C (Standard-Mode)Ø8,0 mm HEX AR40.00017.000

1Abweichung von ±10% möglich

Unser ALE/1C liefert bis zu 40 W Gesamtausgangsleistung im Standard-Mode und 50 W im Performance-Mode. Um den Performance-Mode zu aktivieren, benötigen Sie einen zusätzlichen Chiller im Kühlkreislauf, der die Kühlmitteltemperatur unter 20°C hält.

Systemeigenschaften und technische Daten

Emitteroptionen3 LEDs mit CWL 365 nm, 405 nm und 436 nm
Numerische AperturVariabel: NA 0,6 (2α ~70°) nur mit Integrator und bis zu NA 0,15 (2α ~17°) mit Kondensor
Leistungssteuerung
  • Individuelle LED-Leistungsverwaltung und Voreinstellungen
  • Hochauflösende Leistungseinstellung (10-100%)
  • LED-Schaltzeit ca. 1 Millisekunde
  • Kontinuierliche Überwachung des optischen Outputs mit Feedback-Regelung
Systemschnittstellen
  • Diskrete SPS-Schnittstelle (TTL)
  • USB (seriell)
  • Ethernet / Modbus (optional)
Wärmemanagement
  • Flüssigkeitskühlung mit internem Radiator
  • Optionaler thermoelektrischer Chiller (erforderlich für den Betrieb im Performance-Mode)
Abmessungen (B H T)ESS:20 X 13 X 20,5 cm7,9 X 5,1 X 8,1"
CSS:20 X 15 X 45 cm7,9 X 5,9 X 17,7"
CSS (Rack):44 X 18 X 37 cm17,3 X 7,1 X 14,6"
GewichtESS:5 kg11 lbs
CSS:9 kg20 lbs
CSS (Rack):10 kg22 lbs
Stromversorgung110-240 VAC / 50-60 Hz / 1.000 W

Prozessstabilität wie nie zuvor!