ALE/2 UV-LED-Belichtungssysteme ersetzen konventionelle 2 bis 5 kW Lampenhäuser
Das UV-LED-Belichtungssystem Advanced Light Engine TWO (ALE/2) von Primelite ist eine leistungsstarke UV-Punktlichtquelle für industrielle Belichtungssysteme großer Substrate, die außerordentlich homogene und kollimierte Strahlung erfordern. Meist handelt es dabei um 8″ (200 mm) oder 12″ (300 mm) Mask Aligner, aber auch um größere Anlagen mit quadratischen Belichtungsflächen von bis zu 400 X 400 mm – oder sogar darüber hinaus.
Das ALE/2 übertrifft herkömmliche Quecksilberdampflampen durch hervorragende Leistungsstabilität und flexible Steuerbarkeit des Spektrums. Außerdem verbraucht es weniger Strom, erzeugt weniger Wärme, bietet eine längere Lebensdauer und erfordert nur minimale Wartung.
Die UV-LED-Belichtungssysteme ALE/2 nutzen die Technologieplattform von Primelite optimal, um vier feedback-gesteuerte Hochleistungs-UV-LEDs im Strahlengang zu vereinen. Es sind i-Line- (CWL 365 nm) und Breitband- Konfigurationen (CWL 365 / 405 / 436 nm) verfügbar. Bei reinen i-Line-Prozessen erreicht das UV-LED-Belichtungssystem ALE/2 die Leistung herkömmlicher Entladungslampen mit einer Nennleistung von bis zu 5.000 W. Bei breitbandigen Anwendungen ist die Belichtungsleistung vergleichbar mit der von 2.000 W Lampen.
Highlights des UV-LED-Belichtungssystems ALE/2
- Integrierte Lösung für maximale Belichtungseffizienz und -leistung
- Bis zu 70 Watt i-Line-Ausgangsleistung (CWL 365 nm)
- Bis zu 80 Watt breitbandige Ausgangsleistung (350 - 450 nm)
- Closed-loop gesteuerte optische Leistung für maximale Prozessstabilität
- Sichere und zukunftsfähige Lichtquelle – ohne Quecksilber!
- UV-LED-Technologie für längere Lebensdauer und niedrigere TCO
- Made in Germany
UV-LED-Belichtungssysteme ALE/2 im Überblick
Unsere Advanced Light Engine TWO verfügt über ein kompaktes Belichtungs-Subsystem (ESS) und ein separates Steuerungs-Subsystem (CSS). Das CSS überwacht und steuert das ESS für hochpräzisen optischen Output. Es versorgt die Hochleistungs-LEDs mit Strom und übernimmt das Wärmemanagement, um das gesamte System kühl zu halten.
Ähnlich wie ein herkömmliches Lampenhaus ist das ALE/2 ESS ein integraler Bestandteil des Belichtungssystems. Obwohl das CSS in der Nähe des ESS installiert werden muss, sind die zulässigen Abstände in der Regel groß genug, um Ihnen beim Systemdesign viel Gestaltungsspielraum zu geben.
Steuerungs-Subsystem (CSS)
Das CSS vereint alle Steuerungs-, Stromversorgungs- und Kühlungsfunktionen in einem 4HE 19″ Rackmount-Gehäuse. Die Verbindung zum Gerät kann auf unterschiedliche Weise hergestellt werden, wobei die Standardschnittstellen diskrete SPS, USB oder Ethernet sind.
Belichtungs-Subsystem (ESS)
Die ALE/2-Belichtungs-Subsysteme sind als i-Line- (CWL 365 nm) oder Breitband-Konfiguration erhältlich, die die i-, h- und g-Linien (CWL 365 / 405 / 436 nm) umfasst. Jedes installierte Hochleistungs-LED-Modul verfügt über eine eigene optische closed-loop Feedback-Steuerung, um die Gesamtausgangsleistung des Geräts jederzeit stabil zu halten. Interne Homogenisatoren und ein asphärischer Kondensor bereiten die ausgehende Strahlung so auf, dass eine gleichmäßige Beleuchtung auf der Belichtungsebene erreicht wird.
Alle LED-Module sind vor Ort austauschbar, um den Wartungsaufwand zu minimieren. Das Auswechseln der LEDs dauert nur wenige Minuten und erfordert kein Spezialwerkzeug.
Output von ALE/2 UV-LED-Belichtungssystemen
Unsere ALE/2 Standardkonfiguration kombiniert LED-Module mit Peakwellenlängen im Bereich der i-Linie (365 nm), h-Linie (405 nm) und g-Linie (436 nm) des Quecksilberdampflampenspektrums. Eine reine i-Line-Konfiguration ist ebenfalls erhältlich. Alle UV-LED-Emitter sind einzeln ansteuerbar, so dass Sie die Wellenlängen ohne Filterwechsel schalten und das Ausgangsspektrum individuell anpassen können.
Spektrum
Angular Distribution (from Condenser)
Leistung
| Leistung [mW]1 | Breitband (350 - 450 nm) | i-Linie (365 nm) |
|---|---|---|
| ALE/2 (Performance-Mode) | 90.000 | 80.000 |
| ALE/2 (Standard-Mode) | 80.000 | 70.000 |
1Abweichung von ±10% möglich
Unser ALE/2 liefert bis zu 80 W Gesamtausgangsleistung im Standard-Mode und 90 W im Performance-Mode. Um den Performance-Mode zu aktivieren, benötigen Sie einen zusätzlichen Chiller im Kühlkreislauf, der die Kühlmitteltemperatur unter 20°C hält.
Systemeigenschaften und technische Daten
| Emitteroptionen | 4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm | ||
| Numerische Apertur | NA 0,3 (2α ~35°) mit Standardkondensor | ||
| Leistungssteuerung |
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| Systemschnittstellen |
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| Wärmemanagement |
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| Abmessungen (B H T) | ESS: | 21 X 21 X 36 cm | 8,3 X 8,3 X 14,2" |
| CSS (Rack): | 44 X 18 X 37 cm | 17,3 X 7,1 X 14,6" | |
| Gewicht | ESS: | 4 kg | 9 lbs |
| CSS (Rack): | 10 kg | 22 lbs | |
| Stromversorgung | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1.500 W | ||