Wenn Sie den Durchsatz von Direktbelichtungssystemen für die industrielle maskenlose Lithografie, den Computer-to-Screen (CtS) oder den 3D-Druck erheblich steigern möchten, benötigen Sie eine Lichtquelle der nächsten Generation. Mit dem leistungsstarken UV-LED DMD-Illuminator LumiDL™ erhöhen Sie die Prozessgeschwindigkeit und profitieren von der Flexibilität und dem Kosteneinsparpotenzial der DMD / DLP®-Projektion in der Großserienfertigung.
Der LumiDL™ UV-LED DMD-Illuminator ist in Schmalband- und Breitband-Setups erhältlich und übertrifft herkömmliche Entladungslampen oder Laserdioden nicht nur in Bezug auf die Strahlungsleistung, sondern auch auf die Wirtschaftlichkeit. So senken die LED-Emitter durch die längere Lebensdauer und den geringeren Wartungsaufwand die Gesamtbetriebskosten. Das modular aufgebaute System umfasst eine Hochleistungs-UV-LED-Einheit (FRU, Field-Replaceable Unit), die sich vom Endkunden vor Ort ganz einfach abnehmen und warten lässt.
LumiDL™ UV-LED DMD-Illuminatoren sind mit einem leistungsfähigen 18-Kanal-LED-Treiber ausgestattet. Die Kanäle sind jeweils mit den einzelnen Emittern der UV-LED-FRU verbunden , sodass Sie Belichtungen sehr präzise steuern können. Für die Einrichtung und den Betrieb des Systems können Sie die integrierte Ethernet- (Telnet, Modbus) oder serielle USB-Schnittstelle nutzen. Um den DMD-Illuminator mit vordefinierten Einstellungen sofort zu aktivieren, steht außerdem ein externer Triggereingang zur Verfügung.
Die großformatigen Chipsätze DLP®7000, DLP®9000 und DLP®9500 von Texas Instruments passen perfekt zum optischen Output des LumiDL™ UV-LED DMD-Illuminators. Der äußerst homogene Strahlungsfluss ist auf den 12°-Akzeptanzhalbwinkel und den aktiven Bereich des DLP beschränkt. Ein gewisser Overfill trägt dazu bei, die notwendigen Positionstoleranzen entlang der optischen Achse des gesamten Setups zu lockern. Die spektrale Leistung kann durch Auswahl einer beliebigen Kombination von Emittern um die verfügbaren zentralen Wellenlängen (CWL) 365, 385, 395, 405 und 436 nm angepasst werden.
Leistung [mW]1 | CWL 365 nm | CWL 385 nm | CWL 395 nm | CWL 405 nm | CWL 436 nm |
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LumiDL™ DMD-Illuminator für DLP®7000 (12 LED FRU) | 19.000 | 24.000 | 24.000 | 24.000 | 19.000 |
LumiDL™ DMD-Illuminator für DLP®9500 (18 LED FRU) | 28.000 | 35.000 | 35.000 | 35.000 | 28.000 |
1Konfigurationen mit einer CWL
Emitteroptionen | Kombination von bis zu 18 LEDs mit CWL 365 nm, 385 nm, 395 nm, 405 nm und 436 nm | ||
Optische Outputparameter | Numerische Apertur | NA 0,21 (passt zu ±12° DMD-Neigungswinkel) | |
Lichtgleichmäßigkeit | > 90% | ||
DMD Overfill | > 10% | ||
Leistungssteuerung |
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Systemschnittstellen |
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Wärmemanagement | Flüssigkeitskühlung mit Wärmetauscher (nicht im Lieferumfang enthalten) | ||
Abmessungen (B H T) | DMD-Illuminator | 27,5 X 8 X 8,5 cm | 10,9 X 3,2 X 3,4" |
Mehrkanal-LED-Treiber | 23 X 29 X 4,5 cm | 9,1 X 11,5 X 1,8" | |
Gewicht | DMD-Illuminator | 1,5 kg | 3,5 lbs |
Mehrkanal-LED-Treiber | 2 kg | 4,5 lbs | |
Stromversorgung | 24 VDC / 300 W |