Breitbandige NUV-Lichtquellen sind die Zugpferde in der Lithografie und der UV-Härtung. Die genaue Quantifizierung ihrer Strahlung ist für die Prozessstabilität sowohl in der Klein- als auch in der Großserienfertigung unerlässlich und gewährleistet die Reproduzierbarkeit der...
In der Lithografie hat der technische Fortschritt die Grenzen des Machbaren immer wieder verschoben. Doch ein altes Relikt hält sich bis heute: die Quecksilberdampflampe. Einst wegen ihrer...
Eine sorgfältige Regelung der Betriebstemperatur ist entscheidend für die Maximierung der Leistung, Effizienz und Lebensdauer von UV-LEDs (Ultraviolet Light-Emitting Diodes). In diesem Artikel werden ...
Die Advanced Light Engine ONE von Primelite in Kombination mit unseren Optiken für kollimierte Flächenbelichtung ist nicht nur eine vielseitige und flexible Option, um Ihr konventionelles Lampenhaus für Mask Aligner auf ...
Die derzeitigen Illuminatoren in UV-Lithografiesystemen sind entweder Quecksilberdampflampen, Leuchtdioden (LED) oder auch Laser. Excimer-Laser sind die einzigen Lichtquellen, die sich für die Lithografie im tiefen UV ...
Das Primelite Entwicklungsteam hat die Arbeit an der neuesten Ergänzung unseres UV-LED Produktportfolios erfolgreich abgeschlossen - die ALE/2. Dieses System zielt darauf ab, herkömmliche Quecksilber ...
