用我们的 DLP® / DMD UV-LED 照明器提高数字光刻技术的产量
直接成像设备、无掩模对准器和其他无掩模光刻工具在行业中越来越受欢迎。3D 和计算机屏幕（CtS）打印也是如此。所有无掩模曝光系统都依赖于数字镜面设备（DMD）、例如 Texas Instruments 的 DLP® 芯片组。TI 开发了 DLP® 技术来创建最先进的数字电影放映系统。在工业用例中、这些高分辨率光学 MEMS 取代了传统的掩模、用于曝光具有紫外线敏感涂层、树脂或抗蚀剂的基板上的结构。DMD 可以为您的工艺带来更大灵活性的好处：为什么不抛弃物理光掩模并通过即时、动态可控的曝光模式转换来彻底改造您的光刻或印刷？
在大批量制造中、DMD 投影系统需要强大的 UV 光源才能实现足够的吞吐量。汞放电灯长期以来一直是首选的照明技术、但现在有些灯已被使用寿命更长的激光二极管所取代。这些激光二极管有一个很大的缺点：与放电灯不同、它们几乎是单色的（例如、只有 405 nm）、通常会产生不太理想的曝光结果。
UV-LED 技术的最新进展催生了覆盖传统汞弧放电灯光谱范围的高性能发射器。将这些发射器组合在 UV-LED DMD 照明器中有其优势。该组合工具可提供高强度多色光输出并降低总拥有成本。Primelite 代理的产品 LumiDL™、是基于 LED 技术的最强大的 DMD 照明器之一。
为什么 LumiDL™ DMD 照明器用于直接成像：
- 在 0.95" DLP® 芯片组上最高输出性能高达 40 W
- 提供多光谱配置（365 / 385 / 405 / 436 nm）
- 比放电灯更安全
- UV-LED 技术可延长使用寿命并降低 TCO