UV-LED 技术在光掩模和掩模版检测中的应用

将您的精密检测工具提升到一个新的水平

使用我们的 UV-LED 光源、提高光掩模和掩模版检测的灵活性和准确性

完美无瑕的掩模版或光掩模对于在光刻应用中实现高产量至关重要。缺陷和污染会导致图案放置错误、这些错误会在生产基板上重复出现。掩模版检查系统可帮助掩模厂检验其光掩模、并帮助晶圆厂通过降低印刷缺陷晶圆和其他基板的风险来保护产量。芯片制造商、平板显示器(FPD)和 PCB 制造商依靠这些系统来评估传入的光罩质量、并在生产期间定期重新鉴定光罩。

光刻的用途非常广泛、标线的种类繁多、数不胜数。Primelite 专注于使用近紫外(NUV)、可见光(VIS)和近红外(NIR)光识别大型光掩模上的缺陷和污染的检测工具。我们的 LED 解决方案功能强大且灵活、可取代这些应用中的传统汞和氙气放电灯。

将我们的 LED 光源集成到光掩模检测工具中

智能手机、平板电脑等对高分辨率平板显示器的需求很大。通过将我们强大的 LED 技术集成到用于大型光掩模的光罩检测工具中、OEM 可以更好地满足这一需求。Primelite 的高性能 LED 系统的优点很有说服力、选择我们的解决方案有三个很好的理由:
  1. Primelite 的光纤耦合高级光引擎 ALE/1ALE/3 非常灵活。我们的高透射率 LED 光导让您几乎可以随心所欲地在机器中移动和定位光源。在一些现有装置中、这些光导长达 20 米。
  2. 先进的 OLED FPD 带有更多的 TFT 晶体管、以实现更好的分辨率。这就是高端光掩模必须能够生产更小特征尺寸的原因。要正确检查这些标线、您的设置必须对缺陷更加敏感。将辐射波长从 VIS 转移到近 UV 可增强您的设备检测缺陷的能力。Primelite 的高级 LED 光引擎在 350 至 450 nm 的光谱范围内提供卓越的性能。
  3. 我们的 LED 曝光解决方案卓越的输出稳定性(短期和长期)增加了光罩检测结果的准确性和一致性。
Primelite UV-LED 集成掩模版检测
使用 Primelite UV-LED 光源 ALE/1 掩膜检测装置
Primelite 光纤耦合 UV-LED 点光源 ALE ONE:光谱功率与放电灯
ALE/1 与 200 W 放电灯:光谱功率(CWL 365 / 405 / 436 nm)

精密单波长和多波长输出

虽然其他 LED 曝光解决方案提供窄带检测光 —— 例如、大约 385±15 nm —— 但我们先进的 LED 系统为您提供宽带输出光谱、您可以根据需要进行定制。为了补充与传统放电灯的 i-、h- 和 g-line(365 / 405 / 436 nm)匹配的中心波长、可以将蓝色和绿色等 VIS 成分添加到光谱范围。

我们的 ALE/1 让您可以将多达五个高功率、独立反馈控制的 LED 组合到一个光路中。基于我们的光纤耦合 UV-LED 光源 ALE/3、可提供具有成本效益的单波长和双波长曝光设置。

输出性能比较

输出功率 [mW]1宽带
(350 - 450 nm)
i-line
(355 - 385 nm)
ALE/1.3 (CWL 365 / 405 / 436 nm)230,00010,000
ALE/3.2 (CWL 365 / 405 nm)213,0006,500
200 W 汞放电灯(典型值)7,5003,000

1在光导末端测量的功率输出(有源芯直径 6.5 mm、长度 1.5 m);偏差可能为 ±10%
2发射器的 CWL:367.5±2.5 nm、402.5±2.5 nm 和 435.0±2.5 nm

Primelite 光纤耦合 UV-LED 优越的点光源引擎 ONE
Primelite 光纤耦合 UV-LED 点光源 ALE/1 和 LED 光导

为什么 ALE/1 和 ALE/3 用于光掩模检测:

Advanced Light Engine
ONE

ALE/1 UV-LED 点光源提高了行业对定制宽带曝光光谱和卓越稳定性的标准。

Advanced Light Engine
THREE

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LED
光导

了解更多关于我们的高透射率 LED 光导如何改进光掩膜检测设置。

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