
UV-LED 曝光系统 vs 汞灯:用于光刻与 UV 固化的技术对比
本文对紫外 LED 曝光系统和汞灯在光刻和紫外固化中的应用进行技术比较,重点关注半导体制造中的光谱稳定性、使用寿命、能效和工艺控制 ……

本文对紫外 LED 曝光系统和汞灯在光刻和紫外固化中的应用进行技术比较,重点关注半导体制造中的光谱稳定性、使用寿命、能效和工艺控制 ……

宽带 NUV 光源是光刻和 UV 固化应用的支柱。精确量化其辐射可确保研究实验室的重复性,并对小批量和大批量制造的工艺稳定性至关重要。热电堆和硅光电二极管是测量宽带 NUV ……

In the realm of lithography, technological advancements have continually pushed the boundaries of what is possible. However, one outdated relic still persists: mercury arc lamps. Once revered for their reliability…

Careful control of the operating temperature is paramount to maximize the performance, efficiency, and lifespan of Ultraviolet Light-Emitting Diodes (UV-LEDs). This article explores the crucial reasons…

UV 固化是一种利用紫外线(UV)快速固化粘合剂、涂层和油墨的工艺。实现成功 UV 固化的关键因素之一是选择正确的 UV 光谱。本文将介绍不同的 UV 光谱类型,以及如何使用 UV-LED ……

Our light engines are extremely potent UV-LED spot light sources, designed to provide the maximum output needed in high-power precision applications. Additional optics or light guides used with our UV-LED light sources must meet…

将 LED 输出与光学系统匹配(Etendue 匹配)。目前的紫外光刻系统光源使用汞放电灯、发光二极管(LED)或激光光源。准分子激光器是深紫外(DUV、中心波长约为 193 和 248 纳米)……