Primelite UV-LED 高性能光学元件——获得出色曝光效果的关键
强大的光源和精心匹配的光学器件使其在具有挑战性的紫外线照射场景中效果卓越。鉴于范围广泛的应用场景、个别应用可能非常具体。例如、汽车制造和医疗工程中的高速固化与半导体晶圆厂中晶圆的精密紫外线曝光并不完全相同。
我们的 UV-LED 高性能光学元件在所有这些制造环境中都大放异彩。Primelite 的创新解决方案以合适的价格提供最高效率、同时精确地实现您需要的准直和均匀性。我们的标准光学产品组合涵盖许多曝光场景、但定制 UV-LED 光学产品是我们日常业务的重要组成部分。
UV-LED 高性能光学器件亮点：
一般而言、LED 是具有宽辐射模式（高 NA）的光源。我们的镜头系统是一种非常经济实惠的附加组件、可减少发散甚至聚焦辐射以获得最大强度。如果您想提高六边形或方形曝光区域的均匀性，我们的 LED 高性能光学器件也是一个绝佳选择。
Primelite 的标准 LED 性能光学器件是我们高级光引擎的极其紧凑的补充。但我们也可以大胆设想、正如我们为大型基板量身定制的精密曝光设置所证明的那样。
Primelite 的 LED 高性能光学器件专门使用 UV 级材料。
UV-LED 高性能光学器件亮点：
一般而言、LED 是具有宽辐射模式（高 NA）的光源。我们的镜头系统是一种非常经济实惠的附加组件、可减少发散甚至聚焦辐射以获得最大强度。如果您想提高六边形或方形曝光区域的均匀性，我们的 LED 高性能光学器件也是一个绝佳选择。
Primelite 的标准 LED 性能光学器件是我们高级光引擎的极其紧凑的补充。但我们也可以大胆设想、正如我们为大型基板量身定制的精密曝光设置所证明的那样。
Primelite 的 LED 高性能光学器件专门使用 UV 级材料。
标准性能光学器件
- 易于获得的均质器和冷凝器的模块化系统
- 针对高功率宽带辐射（350 - 450 nm）进行了优化
- 效率高达 90%
- 超过 100,000 mW/cm2 带聚焦附件
- LED 光导的标准连接器
- 与 ALE/1C UV-LED 曝光系统兼容
- 德国制造的优质品质
定制设计能力
- 光刻级均匀性
- 准直低至 ±1°（FWHM）
- 高达 Ø400 mm 的曝光区域
- 内部组装
标准 LED 性能光学器件
均质器
聚光镜
聚焦光学
均质器
| 十字平面： | 圆 Ø6.5 mm |
| 平方 7.5 X 7.5 mm | |
| 六角形 Ø8.0 mm | |
| 长度: | 58 mm |
| 允许的光谱范围： | 250 – 470 nm |
聚光镜
| 类型: | ASP | |
| 通光孔径： | Ø25 mm | Ø34 mm |
| 数值孔径1: | 0.22 (2α ~25°) | 0.15 (2α ~17°) |
| 最小工作距离： | ||
| 允许的光谱范围： | 250 – 470 nm | 330 – 470 nm |
聚焦光学
| 类型: | ASP |
| 通光孔径： | Ø34 mm |
| 数值孔径1: | 0.6 (2α ~70°) |
| 最小工作距离： | 15 mm |
| 允许的光谱范围： | 330 – 470 nm |
1 结合 Primelite 先进光引擎的出射辐射孔径