Primelite 用于光刻用例的高级 UV-LED 光源探
索我们用于近紫外（NUV）光谱范围（i-line、CWL 365 nm / h-line、CWL 405 nm / g-line、CWL 436 nm）的高性能 UV-LED 光刻曝光系统和精密固化解决方案。我们的产品在适用于最大 12 英寸（300 毫米）晶圆的掩模对准器、晶圆步进器、大型基板泛光曝光设备、纳米压印光刻（NIL）工具以及用于 DMD / DLP® 投影的高功率无掩模直接成像器中表现出色.
Primelite 的高级 UV-LED 光引擎是您在小批量和大批量制造环境中首选的可靠工具。如果您正在寻找设计新的曝光系统或改造传统汞放电灯的替代品、请不要再犹豫了。让我们经过行业验证的 UV-LED 光源提供您需要的照明。
