先进的 UV-LED 光引擎 1C

6" 和 8" 晶圆掩膜对准器行业的主力军

ALE/1C UV-LED 曝光系统取代传统的 1 kW 灯箱

Primelite 的 UV-LED 曝光系统 Advanced Light Engine ONE C(ALE/1C)是一种强大的聚光光源、可驱动许多高性能工业 UV 曝光工具。通常、这些是用于 6 英寸(150 mm)和 8 英寸(200 mm)晶圆或宽带晶圆步进系统(1X 步进器/迷你步进器)的半自动和自动掩模对准器。它采用 UV-LED 技术、具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制、优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力、不会产生太多的热量、持续时间更长、并且需要最少的整体维护。

在 Primelite、我们奉行将产品构建为多功能平台的原则。ALE/1C UV-LED 曝光系统也不例外——它们可以让您在光路中组合多达三个 UV LED。在大多数情况下、这些是 i-line(CWL 365 nm)、h-line(CWL 405 nm)和 g-line(CWL 436 nm)发射器、其照明功率超过传统的 1 kW 汞放电灯。

Primelite 光刻 先进的UV-LED 曝光系统 引擎 ONE C
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/1C (控制器和曝光子系统)

ALE/1C UV-LED 曝光系统亮点:

ALE/1C UV-LED 曝光系统概述

ALE/1C 单元采用分布式设计、便于系统集成。我们的紧凑型 UV-LED 曝光子系统(ESS)直接位于您设备的光路中、而设计包络通常会构成挑战。您可以将我们单独的控制子系统(CSS)放置在更方便且空间限制更少的位置、该系统管理整个设置的电源和冷却。并随意将 ALE/1C 曝光系统的光出口与各种光管、光导和其他光学器件结合使用。

控制子系统(CSS)

CSS 有两个版本、一个占地面积非常小、另一个在 19" 机架中占用4U。两者都具有相同的控制接口、冷却系统连接器和系统状态指示灯。机架安装版本在前面板上还有一个曝光测试按键开关、无需外部控制信号即可激活光输出。

Primelite 光刻 UV-LED 控制子系统 优越的光引擎 CSS
Primelite 光刻 UV-LED 控制器 ALE CSS
Primelite 光刻 先进的UV-LED 曝光系统 引擎 ONE C
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/1C

曝光子系统(ESS)

ALE/1C UV-LED 曝光子系统是光管耦合点光源。我们的 UV-LED 光引擎连接到单独的控制子系统(CSS)并配备您选择的光学器件、提供控制和驱动内部 UV-LED 发射器所需的所有硬件和软件。UV-LED 曝光子系统的紧凑设计使集成变得如此简单、既可以作为您当前设备的改造、也可以作为新工具的一部分。

所有 LED 模块均可现场更换。更换 LED 只需几分钟、无需特殊工具。

光出口选项

我们提供一系列均匀化光管、柔性 LED 光导和聚光光学器件、供您与 ALE/1C 曝光子系统结合使用。如果您希望远距离传输高功率辐射、提高均匀性或调整输出辐射的准直角、这些组件会派上用场。

Primelite LED 高性能光学器件
Primelite LED 高性能光学器件

ALE/1C UV-LED 曝光系统输出

我们的标准 ALE/1C 设置将 UV-LED 发射器与汞光谱的 i-line(365 nm)、h-line(405 nm)和 g-line(436 nm)附近的峰值波长相结合。所有 UV-LED 发射器均可单独控制、因此您无需更换滤光片即可切换波长并自定义输出光谱的组成。

光谱

Primelite UV-LED 曝光系统 ALE ONE C:光谱功率 CWL 365、405、436

角分布(来自光管)

Primelite UV-LED 曝光系统 ALE 1C:角度分布模式

功率

辐射 [mW]1光学宽带(350 - 450 nm)i-line(365 nm)
ALE/1C(性能模式)Ø8.0 mm HEX AR50,00021,000
ALE/1C(标准模式)Ø8.0 mm HEX AR40,00017,000

1偏差可能为 ±10%

我们的 ALE/1C 在标准模式下提供高达 40 W 的总输出、在高性能模式下提供 50 W。要激活高性能模式、您需要在冷却回路中安装一个额外的冷却器、以将冷却液温度保持在 20°C 以下。

系统属性和规格

发射器选项3 个具有 CWL 365 nm、405 nm 和 436 nm 的 LED
数值孔径可变:NA 0.6(2α ~70°)仅带光管、低至 NA 0.15(2α ~17°)带聚光器
输出控制
  • 独立的 LED 电源管理和预设
  • 高分辨率强度调整(10-100%)
  • LED上升时间约 1 ms
  • 连续监控光输出和反馈控制
通讯接口
  • 离散 PLC 接口(TTL)
  • USB(串行)
  • Ethernet / MODBUS TCP/IP (optional)
热管理
  • 带内部散热器的液体冷却(标准模式)
  • 可选外部冷却器(性能模式)
尺寸(长宽高)ESS:20 X 13 X 20.5 cm7.9 X 5.1 X 8.1"
CSS:20 X 15 X 45 cm7.9 X 5.9 X 17.7"
CSS(机架安装):44 X 18 X 37 cm17.3 X 7.1 X 14.6"
重量ESS:5 kg11 lbs
CSS:9 kg20 lbs
CSS(机架安装):10 kg22 lbs
电源110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W

过程稳定性前所未有!