ALE/1C UV-LED 曝光系统取代传统的 1 kW 灯箱
Primelite 的 UV-LED 曝光系统 Advanced Light Engine ONE C（ALE/1C）是一种强大的聚光光源、可驱动许多高性能工业 UV 曝光工具。通常、这些是用于 6 英寸（150 mm）和 8 英寸（200 mm）晶圆或宽带晶圆步进系统（1X 步进器/迷你步进器）的半自动和自动掩模对准器。它采用 UV-LED 技术、具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制、优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力、不会产生太多的热量、持续时间更长、并且需要最少的整体维护。
在 Primelite、我们奉行将产品构建为多功能平台的原则。ALE/1C UV-LED 曝光系统也不例外——它们可以让您在光路中组合多达三个 UV LED。在大多数情况下、这些是 i-line（CWL 365 nm)、h-line（CWL 405 nm）和 g-line（CWL 436 nm）发射器、其照明功率超过传统的 1 kW 汞放电灯。
ALE/1C UV-LED 曝光系统亮点：
- 最大曝光效率和性能的内置解决方案
- 高达50 瓦的宽带曝光（350 - 450 nm）
- 闭环控制的光输出可实现最大的过程稳定性
- 不含汞！安全且面向未来的 LED 光源
- UV-LED 技术可延长使用寿命并降低 TCO
- 德国制造的优质品质
ALE/1C UV-LED 曝光系统概述
ALE/1C 单元采用分布式设计、便于系统集成。我们的紧凑型 UV-LED 曝光子系统（ESS）直接位于您设备的光路中、而设计包络通常会构成挑战。您可以将我们单独的控制子系统（CSS）放置在更方便且空间限制更少的位置、该系统管理整个设置的电源和冷却。并随意将 ALE/1C 曝光系统的光出口与各种光管、光导和其他光学器件结合使用。
控制子系统（CSS）
CSS 有两个版本、一个占地面积非常小、另一个在 19" 机架中占用4U。两者都具有相同的控制接口、冷却系统连接器和系统状态指示灯。机架安装版本在前面板上还有一个曝光测试按键开关、无需外部控制信号即可激活光输出。
曝光子系统（ESS）
ALE/1C UV-LED 曝光子系统是光管耦合点光源。我们的 UV-LED 光引擎连接到单独的控制子系统（CSS）并配备您选择的光学器件、提供控制和驱动内部 UV-LED 发射器所需的所有硬件和软件。UV-LED 曝光子系统的紧凑设计使集成变得如此简单、既可以作为您当前设备的改造、也可以作为新工具的一部分。
所有 LED 模块均可现场更换。更换 LED 只需几分钟、无需特殊工具。
光出口选项
我们提供一系列均匀化光管、柔性 LED 光导和聚光光学器件、供您与 ALE/1C 曝光子系统结合使用。如果您希望远距离传输高功率辐射、提高均匀性或调整输出辐射的准直角、这些组件会派上用场。
ALE/1C UV-LED 曝光系统输出
我们的标准 ALE/1C 设置将 UV-LED 发射器与汞光谱的 i-line（365 nm)、h-line（405 nm）和 g-line（436 nm）附近的峰值波长相结合。所有 UV-LED 发射器均可单独控制、因此您无需更换滤光片即可切换波长并自定义输出光谱的组成。
光谱
角分布（来自光管）
功率
| 辐射 [mW]1 | 光学 | 宽带（350 - 450 nm） | i-line（365 nm） |
|---|---|---|---|
| ALE/1C（性能模式） | Ø8.0 mm HEX AR | 50,000 | 21,000 |
| ALE/1C（标准模式） | Ø8.0 mm HEX AR | 40,000 | 17,000 |
1偏差可能为 ±10%
我们的 ALE/1C 在标准模式下提供高达 40 W 的总输出、在高性能模式下提供 50 W。要激活高性能模式、您需要在冷却回路中安装一个额外的冷却器、以将冷却液温度保持在 20°C 以下。
系统属性和规格
| 发射器选项 | 3 个具有 CWL 365 nm、405 nm 和 436 nm 的 LED | ||
| 数值孔径 | 可变：NA 0.6（2α ~70°）仅带光管、低至 NA 0.15（2α ~17°）带聚光器 | ||
| 输出控制 |
| ||
| 通讯接口 |
| ||
| 热管理 |
| ||
| 尺寸（长宽高） | ESS: | 20 X 13 X 20.5 cm | 7.9 X 5.1 X 8.1" |
| CSS: | 20 X 15 X 45 cm | 7.9 X 5.9 X 17.7" | |
| CSS（机架安装）: | 44 X 18 X 37 cm | 17.3 X 7.1 X 14.6" | |
| 重量 | ESS: | 5 kg | 11 lbs |
| CSS: | 9 kg | 20 lbs | |
| CSS（机架安装）: | 10 kg | 22 lbs | |
| 电源 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W | ||