ALE/2 UV-LED 曝光系统取代传统的 2 – 5 kW 灯箱
Primelite 的 UV-LED 曝光系统高级光引擎二（ALE/2）是一种高性能 UV 点光源、适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基板工业泛光曝光工具、可以是 8 英寸（200 mm）或 12 英寸（300 mm）掩模对准器。其 UV 输出足够强大、可以为方形曝光区域高达 400 X 400 mm 的更大设置提供动力 —— 在某些情况下、甚至更大。ALE/2 采用 UV-LED 技术、具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制、优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力、不会产生太多的热量、持续时间更长、并且需要最少的整体维护。
ALE/2 UV-LED 曝光系统充分利用 Primelite 的技术平台、让您在光路中组合四个反馈控制的高功率 UV LED。提供 i-line（CWL 365 nm）和宽带（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在单一 i-line 工艺中、ALE/2 UV-LED 曝光系统的性能可与额定功率高达 5,000 W 的传统放电灯相媲美。对于宽带用例、其照明功率可与 2,000 W 放电灯媲美。
ALE/2 UV-LED 曝光系统亮点：
- 最大曝光效率和性能的内置解决方案
- 高达 70 瓦的 i-line 曝光（CWL 365 nm）
- 高达 80 瓦的宽带曝光（350 – 450 nm）
- 闭环控制的光输出可实现最大的过程稳定性
- 不含汞！安全且面向未来的 LED 光源
- UV-LED 技术可延长使用寿命并降低 TCO
- 德国制造的优质品质
ALE/2 UV-LED 曝光系统概述
我们的 ALE/2 单元具有紧凑的曝光子系统（ESS）和独立的控制子系统（CSS）。CSS 监控并驱动 ESS 以获得超精确的光输出。它为高功率 LED 供电并管理热量以保持整个系统冷却。
与传统灯箱非常相似、ALE/2 ESS 是曝光工具不可或缺的一部分。尽管 CSS 必须安装在 ESS 附近、但允许的距离通常足够大、可以为您提供更多的设计余地。
控制子系统（CSS）
控制子系统将所有控制、电源和冷却功能打包到一个 4U 19" 机架安装机箱中。您可以通过多种方式与设备进行通信、标准接口为离散 PLC、USB 或以太网。
曝光子系统（ESS）
ALE/2 曝光子系统采用 i-line（CWL 365 nm）或包含 i-line、h-line 和 g-line (CWL 365 / 405 / 436 nm) 的宽带配置。每个安装的大功率 LED 模组都有专用的光学闭环反馈控制、使单元的总功率输出始终保持稳定。内部均化器和非球面聚光器调节出射辐射、以在曝光平面上实现均匀照明。
所有 LED 模块均可现场更换、以最大限度地减少维护。更换 LED 仅需几分钟、无需特殊工具。
ALE/2 UV-LED 曝光系统输出
我们的标准 ALE/2 设置将 LED 模块与汞光谱的 i-line（365 nm)、h-line（405 nm) 和 g-line （436 nm) 周围的峰值波长相结合。还提供纯 i-line 列配置。所有 UV-LED 发射器均可单独控制、因此您无需更换滤光片即可切换波长并自定义输出光谱的组成。
光谱
角分布（来聚光镜）
功率
| 辐射 [mW]1 | 宽带（350 - 450 nm） | i-line（365 nm） |
|---|---|---|
| ALE/2（标准性能） | 80,000 | 70,000 |
| ALE/2（标准模式） | 70,000 | 60,000 |
1偏差可能为 ±10%
我们的 ALE/2 在标准模式下提供高达 80 W 的总输出、在性能模式下提供 90 W。要激活性能模式、您需要在冷却回路中添加一个冷却器、以将冷却液温度保持在 20°CC 以下。
系统属性和规格
| 发射器选项 | 4 个具有 CWL 365 nm、385 nm、 405 nm 和 436 nm 的 LED | ||
| 数值孔径 | NA 0.3（2α ~35°）带标准聚光镜 | ||
| 输出控制 |
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| 通讯接口 |
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| 热管理 |
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| 尺寸（长宽高） | ESS: | 21 X 21 X 36 cm | 8.3 X 8.3 X 14.2" |
| CSS（机架安装）: | 44 X 18 X 37 cm | 17.3 X 7.1 X 14.6" | |
| 重量 | ESS: | 4 kg | 9 lbs |
| CSS（机架安装）: | 10 kg | 22 lbs | |
| 电源 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,500 W | ||