先进的 UV-LED 光引擎 TWO

最强大的 UV-LED 点光源

ALE/2 UV-LED 曝光系统取代传统的 2 – 5 kW 灯箱

Primelite 的 UV-LED 曝光系统高级光引擎二(ALE/2)是一种高性能 UV 点光源、适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基板工业泛光曝光工具、可以是 8 英寸(200 mm)或 12 英寸(300 mm)掩模对准器。其 UV 输出足够强大、可以为方形曝光区域高达 400 X 400 mm 的更大设置提供动力 —— 在某些情况下、甚至更大。ALE/2 采用 UV-LED 技术、具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制、优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力、不会产生太多的热量、持续时间更长、并且需要最少的整体维护。

ALE/2 UV-LED 曝光系统充分利用 Primelite 的技术平台、让您在光路中组合四个反馈控制的高功率 UV LED。提供 i-line(CWL 365 nm)和宽带(CWL 365 / 405 / 436 nm)配置。在单一 i-line 工艺中、ALE/2 UV-LED 曝光系统的性能可与额定功率高达 5,000 W 的传统放电灯相媲美。对于宽带用例、其照明功率可与 2,000 W 放电灯媲美。

Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统优越的光引擎 TWO
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/2(控制器和曝光子系统)

ALE/2 UV-LED 曝光系统亮点:

ALE/2 UV-LED 曝光系统概述

我们的 ALE/2 单元具有紧凑的曝光子系统(ESS)和独立的控制子系统(CSS)。CSS 监控并驱动 ESS 以获得超精确的光输出。它为高功率 LED 供电并管理热量以保持整个系统冷却。

与传统灯箱非常相似、ALE/2 ESS 是曝光工具不可或缺的一部分。尽管 CSS 必须安装在 ESS 附近、但允许的距离通常足够大、可以为您提供更多的设计余地。

控制子系统(CSS)

控制子系统将所有控制、电源和冷却功能打包到一个 4U 19" 机架安装机箱中。您可以通过多种方式与设备进行通信、标准接口为离散 PLC、USB 或以太网。

Primelite 光刻 UV-LED 控制子系统 优越的光引擎 CSS
Primelite 光刻 UV-LED 控制器 ALE CSS(机架安装)
Primelite 光刻 先进的 UV-LED 曝光系统 引擎 TWO
Primelite 光刻 UV-LED 曝光系统 ALE/ 2

曝光子系统(ESS)

ALE/2 曝光子系统采用 i-line(CWL 365 nm)或包含 i-line、h-line 和 g-line (CWL 365 / 405 / 436 nm) 的宽带配置。每个安装的大功率 LED 模组都有专用的光学闭环反馈控制、使单元的总功率输出始终保持稳定。内部均化器和非球面聚光器调节出射辐射、以在曝光平面上实现均匀照明。

所有 LED 模块均可现场更换、以最大限度地减少维护。更换 LED 仅需几分钟、无需特殊工具。

ALE/2 UV-LED 曝光系统输出

我们的标准 ALE/2 设置将 LED 模块与汞光谱的 i-line(365 nm)、h-line(405 nm) 和 g-line (436 nm) 周围的峰值波长相结合。还提供纯 i-line 列配置。所有 UV-LED 发射器均可单独控制、因此您无需更换滤光片即可切换波长并自定义输出光谱的组成。

光谱

Primelite UV-LED 曝光系统 ALE TWO:光谱功率

角分布(来聚光镜)

Primelite UV-LED 曝光系统 ALE TWO:角度分布模式

功率

辐射 [mW]1宽带(350 - 450 nm)i-line(365 nm)
ALE/2(标准性能)80,00070,000
ALE/2(标准模式)70,00060,000

1偏差可能为 ±10%

我们的 ALE/2 在标准模式下提供高达 80 W 的总输出、在性能模式下提供 90 W。要激活性能模式、您需要在冷却回路中添加一个冷却器、以将冷却液温度保持在 20°CC 以下。

系统属性和规格

发射器选项4 个具有 CWL 365 nm、385 nm、 405 nm 和 436 nm 的 LED
数值孔径NA 0.3(2α ~35°)带标准聚光镜
输出控制
  • 独立的 LED 电源管理和预设
  • 高分辨率强度调整(10-100%)
  • LED上升时间约 1 ms
  • 连续监控光输出和反馈控制
通讯接口
  • 离散 PLC 接口(TTL)
  • USB(串行)
  • Ethernet / MODBUS TCP/IP (optional)
热管理
  • 带内部散热器的液体冷却(标准模式)
  • 可选外部冷却器(性能模式)
尺寸(长宽高)ESS:21 X 21 X 36 cm8.3 X 8.3 X 14.2"
CSS(机架安装):44 X 18 X 37 cm17.3 X 7.1 X 14.6"
重量ESS:4 kg9 lbs
CSS(机架安装):10 kg22 lbs
电源110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,500 W

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